Процесс безнапорного спекания специальной керамики в полупроводниковой промышленности

---

Благодаря превосходным электромеханическим и физическим свойствам специальная керамика все чаще используется в полупроводниковой промышленности. С развитием интегральных схем в направлении миниатюризации, высокой скорости и низкой стоимости производители полупроводникового оборудования все больше и больше полагаются на специальные керамические компоненты, чтобы их оборудование соответствовало требованиям промышленности ИС. Большая часть специальной керамики, используемой в полупроводниковой промышленности, все еще использует традиционный процесс подготовки.Самое большое отличие состоит в том, что специальная керамика должна иметь высокую чистоту, а иногда также предъявляются требования к электрическим свойствам специальной керамики. Основной продукцией являются различные уплотнительные кольца и кольца, арочные крышки, различные футеровки диффузионных печей, различные штифты, вафельные подложки и токоприемники, концевые эффекторы, вакуумные патроны и т.д.

В полупроводниковой промышленности, помимо плавленого кварца, наибольшее распространение получили специальные керамики — различные оксидные керамики. Оксидная керамика, такая как детали из оксида алюминия и циркония, обычно изготавливается непосредственно из полуфабрикатов, которые получают холодным изостатическим прессованием или сухим прессованием и обжигают путем спекания без давления. Ключом к производству компонентов является последующая обработка.По мере увеличения размера кремниевых пластин требуются более крупные керамические компоненты, а требования к точности обработки точно такие же, как и для небольших.

Применение карбидокремниевой керамики в полупроводниковой промышленности

Основным компонентом керамического материала из карбида кремния является SiC. Он обладает превосходными механическими свойствами, отличной стойкостью к окислению, чрезвычайно высокой износостойкостью и низким коэффициентом трения. Самым большим преимуществом керамики из карбида кремния является то, что она может сохранять высокую прочность и твердость при высокой температуре 1400 градусов Цельсия. Кроме того, теплопроводность керамики из карбида кремния без давления также очень высока, уступая только керамике из оксида бериллия и нитрида алюминия, поэтому она подходит для различных суровых условий.

Благодаря высокой теплопроводности и хорошей изоляции керамики из карбида кремния ее можно использовать в качестве подложки и упаковочного материала для крупных интегральных схем. Нагревательный элемент из карбида кремния является широко используемым нагревательным элементом.Благодаря простоте и удобству эксплуатации, длительному сроку службы и широкому спектру применения он стал самым прочным, дешевым и высококачественным нагревательным материалом.

Карбид кремния используется в качестве подложки в диффузионной печи для производства монокристаллических кремниевых пластин уже почти 50 лет. Поскольку он имеет тот же коэффициент теплового расширения, что и монокристаллический кремний, высокий модуль упругости, высокую теплопроводность и химическую инертность, он также используется в качестве большой вакуумной плиты и пресс-формы для механической химической полировки (CMP). В то же время, благодаря своей высокой чистоте и стойкости к плазменной эрозии, он является идеальным материалом для камер плазменного травления.

Детали из карбида кремния сложной формы и больших размеров изготавливаются методом шликерного литья с последующей механической обработкой. Порошок карбида кремния высокой чистоты и связующее превращаются в суспензию, впрыскиваются в гипсовую форму для получения сырца и обрабатываются до необходимого размера на шлифовальном станке с ЧПУ. Он спекается в вакуумной печи для спекания при температуре выше 2000°C, и спеченный продукт окончательно превращается в желаемую деталь. Простые компоненты из карбида кремния обычно получают сухим прессованием, холодным изостатическим прессованием (CIP) или экструзией. После распылительной сушки порошок формуется изостатическим прессованием и под действием карбида бора в качестве спекающей добавки без давления спекается в изделие. Керамика из карбида кремния имеет отличные характеристики и широко используется в промышленности полупроводниковой электроники.

Технологическая схема производства спеченной без давления керамики из карбида кремния:

Ингредиенты: шаровая мельница, распылительная грануляция, компрессионное формование, обработка печенья, спекание без давления, постобработка.

Среди них спекание без давления является ключевым звеном в производстве керамики из карбида кремния.Эффект обработки этого звена будет напрямую определять качество готового продукта, поэтому выбор печи для спекания карбида кремния очень важен.

Печи для спекания карбида кремния без давления серии RVS-S, производимые SIMUWU, могут полностью удовлетворить потребности спекания карбида кремния без давления, могут нагреваться до 2400 градусов Цельсия, имеют хорошую однородность температуры и вакуум.

SIMUWU имеет более чем десятилетний опыт продаж и производства в области вакуумных печей и может эффективно удовлетворить различные технологические потребности клиентов.Зрелая команда инженеров может помочь производителям выполнить ряд потребностей от установки до послепродажного обслуживания. В области спекания карбида кремния многие заводы выбрали этот бренд, его технология является зрелой и надежной, и это выдающийся бренд в области печей для спекания карбида кремния без давления.