как обрабатывать детали полупроводниковых пластин в вакууме для термообработки, чтобы контролировать дисторсию?

---

металлические части полупроводниковой пластины – это деталь, требующая больших отклонений.  в качестве примера можно привести стальную деталь 35CrmnSiA, которая является более прокаливаемой и широко используется при производстве различных деталей для тонкой пластинки.  при закалке в таких вакуумных печах высокого давления азот высокой чистоты (≥ 0,4 МПа) (более 9995 процента) в основном удовлетворяет требованиям в отношении твердости при закалке.  Хотя термическая обработка с использованием вакуумных воздухо – закалочных печей высокого давления позволяет лучше устранять дефекты обрабатываемых деталей, режим движения азота при охлаждении высоковольтным азотом предъявляет новые требования к обработке пластин.  при этом необходимо совершенствовать печи для монтажа полупроводниковых пластин в соответствии с особенностями вакуумной воздушно – закалки, с тем чтобы устранить искажения.

традиционный способ загрузки печи:

изделие  φ  100 мм  ×  толщина полупроводниковой пластины 3 мм (см. диаграмму) требует контроля на уровне от 45 до 48HRC, а на уровне поверхности после термообработки требуется не более 0,30 мм.  35CrmnSia сталь хорошо прокаливается, и высокая скорость охлаждения азота чистого высокого давления удовлетворяет его требованиям охлаждения.  технология вакуумной термообработки показана на рисунке ниже, способ установки печи используется для вертикальной подвески проволоки под стеллаж.

после термообработки полупроводниковых пластин в соответствии с вышеописанной технологией, поверхность полупроводника светлая и чистая, без окисления обезуглероживание;  твердость закалки выше 49 HRC, основные параметры контроля твердости отпуска находятся в пределах технических требований.  Но Уровень выше, чем Уровень выше, термообработки хороший показатель только 75%, не дает желаемого эффекта.

причина искажения:

все факторы, влияющие на дисторсию закалки в изделиях, влияют на прокаливание деталей посредством воздействия на обе характеристики изделий.  Первая характеристика – способность изделия выдерживать скорость закалки и охлаждения;  Вторая особенность – медленное охлаждение изделий при закалке и охлаждении.  только при условии, что скорость охлаждения, получаемая изделием, полностью контролируется в пределах допустимой скорости охлаждения, можно получить результат закалки, требуемой для обрабатываемых деталей, глубина закалки твердого слоя, отсутствие прокаливания, а также неровное искажение закалки.

эффект загрузки печи:

при охлаждении обрабатываемых деталей, способ подвески оказывает большое влияние на скорость охлаждения, если используется ненадлежащее приспособление для подвески, или если расстояние между обрабатываемыми изделиями слишком маленькое, средняя скорость охлаждения снижается, может вызвать частичные отклонения от закалки.  в реальном производстве, тонколистовые изделия при закалке после выпуска из печи отдельные изделия выпадают из колючей проволоки в корзину, а детали в целом относительно разрознены, что свидетельствует о том, что при охлаждении полупроводниковых деталей пластины подвергаются воздействию высоковольтного азота в разных направлениях, нерегулярно колеблющиеся работы делают направление и давление потока высоковольтного азота между изделиями нерегулярными, что делает поток закалки среды неравномерным,  из – за неравномерного охлаждения полупроводниковых пластин возникает аберрация.  Таким образом, искажения полупроводниковых пластин в сочетании с термическим напряжением, организационным напряжением и внешними ударными силами.  Таким образом, рациональное управление печью, снижение ударной силы и надлежащее снижение холода являются ключом к борьбе с искажениями тонкой пластины.

для полупроводниковых деталей вертикальный параллельный, вертикальный, равномерный стационарный способ загрузки печи снижает давление высокого давления азота на изделие, одновременно корректируя температуру закалки, чтобы надлежащим образом снизить слишком холодно, эффективно контролировать дисторсию закалки на рабочем месте.  конкретный способ загрузки печи:

с усовершенствованной технологией и печью для вакуумной термообработки одной и той же партии 30 тонколистов, после обнаружения твердости после термообработки обрабатываемых деталей от 45 до 47HRC, основной контроль плоскости от 0,03 до 0,25 мм, коэффициент термообработки хорошей продукции достиг 99,7%.  модифицированная технология хорошо решает проблемы искажения полупроводниковых пластин, технические показатели удовлетворяют требованиям и могут производиться в больших количествах.

выбор оборудования: вакуумная термообработка серии VOGQ, производимая компанией SIMUWU, является высококачественным продуктом, обеспечивающим процесс вакуумной термообработки, при котором обрабатываются рабочие формы.  “симуву” специализируется на изготовлении вакуумных печей, имеет опыт работы в этой области на протяжении более десяти лет и имеет хорошую репутацию в области изготовления вакуумных печей.  производственные линии включают вакуумные воздушно – калильные печи, вакуумные масляно – калильные печи, вакуумные паяльные печи и т.д.