вакуумная термообработка полупроводниковых деталей

---

металлические части полупроводниковых пластин – это широко используемые металлические детали.  некоторые более точные устройства не только требуют высокой прочности, но и высокой точности деталей пластины, поэтому необходимо контролировать искажения при термообработке деталей пластины.

при многоцелевой печи для теплозащитной обработки полупроводниковых пластин в атмосфере, использование закалочного масла (20 масло) для закалки, большие искажения, и есть явление поверхностного окисления, коэффициент годности только 66%, не может достичь желаемого эффекта.

для полного устранения искажений и обезуглероживания поверхности необходимо отменить процесс термозакалки с подогревом соли и провести вакуумную термическую обработку полупроводниковых пластин.  вакуумная термообработка имеет ряд преимуществ без окисления, без обезуглероживания, обезжиривания, деформации микро, качество поверхности и так далее. термообработка деталей имеет отличные характеристики, длительный срок службы, без загрязнения, без вреда для общества, степень автоматизации высокая.  твердость обрабатываемых в вакууме изделий однородность, технологическая стабильность и повторяемость;  после закалки размер и форма детали небольшие, как правило, можно устранить механическую обработку для устранения искажений, таким образом, повысить экономическую эффективность, компенсировать недостаток инвестиций в оборудование.

в качестве примера можно привести стальную деталь 35CrmnSiA, которая является более прокаливаемой и широко используется при производстве различных деталей для тонкой пластинки.  при закалке в таких вакуумных печах высокого давления азот высокой чистоты (≥ 0,4 МПа) (более 9995 процента) в основном удовлетворяет требованиям в отношении твердости при закалке.  конкретные технологии пневматической закалки:

термообработка одной и той же партии 30 полупроводниковых пластин с использованием вакуумной термообработки и совершенно новой печи, после обнаружения твердости обрабатываемых деталей после термической обработки от 45 до 47HRC, основной контроль плоскости от 0,03 до 0,25 мм, скорость обрабатываемых изделий тепла достигает 99,7%.  модифицированная технология хорошо решает проблемы искажения полупроводниковых пластин, технические показатели удовлетворяют требованиям и могут производиться в больших количествах.

выбор оборудования для термообработки: вакуумные тепловые печи серии VOGQ, выпускаемые компанией SIMUWU, являются высококачественным продуктом процесса вакуумной термообработки полупроводниковых пластин, благодаря чему обеспечивается эффективная вакуумная термообработка с высокой точностью и равномерностью термоконтроля.  “симуву” специализируется на изготовлении вакуумных печей, имеет опыт работы в этой области на протяжении более десяти лет и имеет хорошую репутацию в области изготовления вакуумных печей.  производственные линии включают вакуумные воздушно – калильные печи, вакуумные масляно – калильные печи, вакуумные паяльные печи и т.д.