Небольшая монокристаллическая печь VDF

---

VDF небольшая монокристаллическая печь / направленная затвердевающая печь описание продукта:

Функция 1.Furnace
Это для производства монокристаллов карбида кремния, диаметр монокристалла составляет 2 дюйма и 3 дюйма, печь для 2-дюймового слитка по имени THG2, для 3-дюймового слитка под названием THG3.

2.Фурнальная композиция
Вакуумная камера, вакуумная система, система разгерметизации, система перемещения семенной балки, система перемещения тигелей, система отопления, система газового тракта, система охлаждения, сигнализация, тигель, система управления.

3. Вакуумная камера
Изготовлен 1Cr18Ni9Ti, водяное охлаждение, вертикальный тип, фланцы на верхней части.

Система перемещения шины 4.Seed
Сеялка может перемещаться вверх и вниз и вращаться, платформа управляется серверным двигателем, скорость движения контролируется медленным механизмом. Скорость вращения непрерывно настраивается.

Система управления 5.Crucible
Тигель может перемещаться вверх и вниз и вращаться, платформа управляется серверным двигателем, скорость движения контролируется медленным механизмом. Скорость вращения непрерывно настраивается.

6. Система сбора вакуума
Возьмите систему турбомолекулярных насосов, предельную степень вакуума (холодное состояние) ≤3 X10-5Pa

7. Один комплект системы разгерметизации, контролируемый компьютерной системой.

8. Система охлаждения
Использование в нагреваемом графитовом тигле, максимальная температура 2500 ° C

Трубопроводная система 9.Gas
Манометры для контроля качества

10.Alarming система
Защитите безопасность оборудования и его нормальное использование, перегрев, разрыв термопары, давление воды, сигнализацию и защиту от давления газа.

11. Система управления
Сенсорный экран с системой управления PLD, он имеет контроль и защиту, настройку параметров процесса и функцию записи. Печь, управляемая ПЛК, система может следить за программным процессом, чтобы выполнять работу, защищать и предупреждать. В ненормальной ситуации он может диагностировать ошибку автоматически и Возьмите процесс действий. Система может записывать параметры процесса и копировать, искать, система OP – это Windows.