Как предварительно вакуумироват печь для термообработки

---

Вакуумная термическая печь вытягивает рабочий вакуум из атмосферного состояния, а работа вакуумной системы делится на четыре основных этапа:

1. Запустите насос Рутса, откройте форвакуумный клапан, закройте главный клапан и клапан предварительного насоса и запустите механический насос с помощью кнопки. Как вакуум, измеренный датчиком низкого вакуума, выше, чем входной вакуум насоса Рутса, например, менее 2 кПа. Откройте насос Рутса

2. Диффузионный насос предварительного нагрева, главный клапан и клапан предварительной откачки все еще находятся в закрытом состоянии, насосная установка предварительной ступени вакуумирует диффузионный насос, и, когда манометр низкого вакуума измеряет предварительную ступень вакуума диффузионного насоса, превышающую указанное значение, например, менее 7 Па, запускается нагреватель диффузионного насоса

3. Предварительно создайте вакуум в печи, сначала закройте клапан передней ступени, закройте насос Рутса, а затем откройте клапан предварительной откачки, чтобы опорожнить печь. Когда вакуум в печи накачивается выше, чем вакуум на входе насоса Рутса, насос Рутса запускается, и блок форвакуумного насоса втягивает воздух в печь для достижения степени предварительного вакуума.

(1)В течение периода предварительного вакуума наблюдайте вакуум диффузионного насоса. Если давление предварительного диффузионного насоса ниже указанного значения, закройте клапан предварительного насоса, позже откройте клапан переднего этапа, а затем выполните вакуум.

(2)Когда уровень вакуума на передней ступени диффузионного насоса выше указанного значения, закройте клапан передней ступени, а затем откройте клапан предварительной откачки, чтобы продолжить вакуумирование печи.
(3)Если вакуум в печи ниже, чем вакуум на входе насоса Рутса, остановите насос Рутса, пока вакуум в печи не превысит вакуум на входе насоса Рутса, затем запустите насос Рутса.

(4)Когда степень вакуума в печи, измеренная манометром низкого вакуума, достигает степени предварительного вакуума, а время нагрева диффузионного насоса не наступает, клапан передней ступени открывается, а внутренняя часть печи и диффузионный насос вакуумируются, ожидая прогрева диффузионного насоса.

4. Откачивая высокий вакуум, вакуум в печи достигает или превышает указанное значение, и диффузионный насос нагревается до того времени, сначала закройте клапан предварительной откачки, затем откройте клапан высокого вакуума, пропустите вакуум в печи, пока не будет измерен датчик высокого вакуума. Вакуум в печи находится на уровне или выше рабочего вакуума перед переходом к следующему этапу.

Процесс закрытия вакуумной системы относительно прост: когда температура вакуумной печи снижается до требований, предъявляемых к вакуумной системе, главный клапан закрывается, и затем нагреватель диффузионного насоса отключается, но клапан переднего плана не может быть закрыт, а группа фовакуумного насоса все еще работает, пока нагреватель диффузионного насоса остывает, форвакуумный клапан и форвакуумный насосный блок последовательно отключаются.